微区电沉积技术及其研究进展

徐晨刘德荣刘磊胡文彬吴忠 · 2016

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期刊名称：

功能材料 2016 年 10 期

摘要：

微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题,微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状,讨论了微区电沉积研究中的参数优化、过程模拟与技术发展,并对微区电沉积技术未来的研究重点与发展趋势进行了展望。